傳感器作為(wei)現代科技的前沿技術，傳感器產(chan)(chan)業也(ye)是(shi)國內(nei)外公認的具(ju)有發(fa)展前途的高(gao)技術產(chan)(chan)業，它以(yi)其技術含(han)量高(gao)、經濟效益好、滲透(tou)能力(li)強、市場(chang)前景(jing)廣(guang)等(deng)特點為(wei)世人矚目。
幾(ji)十年來，以微電子技術(shu)(shu)為基礎，促進了傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)技術(shu)(shu)的發(fa)展。多(duo)學科、多(duo)種高(gao)新技術(shu)(shu)的交叉融合(he)，推(tui)動了新一代傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)的誕生與發(fa)展。例如：我國重點開發(fa)的MEMS、MOMES、智能傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)、生物化學傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)等以及(ji)今后將大力開發(fa)的網絡化傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)、納米傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)均是多(duo)學科、多(duo)種學科技術(shu)(shu)交叉融合(he)的新一代傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)。
微型(xing)化是建立在(zai)微電(dian)子(zi)機械系統(MEMS)技(ji)(ji)術(shu)(shu)基礎上的(de)，目前已成功應用在(zai)硅器件上形成硅壓力傳感(gan)器(如(ru)上述EJX變送(song)器)。微電(dian)子(zi)機械加(jia)工技(ji)(ji)術(shu)(shu)，包括體(ti)微機械加(jia)工技(ji)(ji)術(shu)(shu)、表面微機械加(jia)工技(ji)(ji)術(shu)(shu)、LIGA技(ji)(ji)術(shu)(shu)(X光深層光刻(ke)、微電(dian)鑄和微復制(zhi)技(ji)(ji)術(shu)(shu))、激光微加(jia)工技(ji)(ji)術(shu)(shu)和微型(xing)封(feng)裝技(ji)(ji)術(shu)(shu)等。
MEMS的(de)發展，把傳感器(qi)(qi)的(de)微(wei)型化(hua)、智能化(hua)、多(duo)功能化(hua)和(he)(he)可靠性(xing)水平提高(gao)到(dao)了(le)新(xin)的(de)高(gao)度。傳感器(qi)(qi)的(de)檢(jian)測(ce)儀表，在(zai)微(wei)電(dian)子(zi)技(ji)術基礎上(shang)，內置微(wei)處理器(qi)(qi)，或(huo)把微(wei)傳感器(qi)(qi)和(he)(he)微(wei)處理器(qi)(qi)及(ji)相關集成電(dian)路(運算放(fang)大器(qi)(qi)、A/D或(huo)D/A、存貯器(qi)(qi)、網(wang)絡通訊接口(kou)電(dian)路)等(deng)封裝在(zai)一起完成了(le)數(shu)字(zi)化(hua)、智能化(hua)、網(wang)絡化(hua)、系統化(hua)。(注：MEMS技(ji)術還完成了(le)微(wei)電(dian)動機或(huo)執行(xing)器(qi)(qi)等(deng)產(chan)品，將另作文介紹)網(wang)絡化(hua)方(fang)面，目(mu)前主要(yao)是指(zhi)采(cai)用多(duo)種現場(chang)總線(xian)和(he)(he)以(yi)太網(wang)(互(hu)聯網(wang))，這要(yao)按(an)各行(xing)業的(de)特(te)點，選擇其中(zhong)的(de)一種或(huo)多(duo)種，近年內最流行(xing)的(de)有FF、Profibus、CAN、Lonworks、AS-Interbus、TCP/IP等(deng)。
除MEMS外，新型(xing)傳(chuan)(chuan)感器(qi)的(de)發展還有賴于新型(xing)敏感材(cai)料(liao)、敏感元件和(he)納(na)米(mi)技術，如新一代光纖傳(chuan)(chuan)感器(qi)、超導傳(chuan)(chuan)感器(qi)、焦平面陳列(lie)紅外探測器(qi)、生(sheng)物(wu)傳(chuan)(chuan)感器(qi)、納(na)米(mi)傳(chuan)(chuan)感器(qi)、新型(xing)量子傳(chuan)(chuan)感器(qi)、微型(xing)陀(tuo)螺、網絡化傳(chuan)(chuan)感器(qi)、智能傳(chuan)(chuan)感器(qi)、模糊傳(chuan)(chuan)感器(qi)、多功能傳(chuan)(chuan)感器(qi)等。
多(duo)傳(chuan)感(gan)器(qi)數據(ju)融(rong)合技(ji)術正在形成熱點(dian)，不同(tong)于(yu)(yu)一(yi)般信(xin)號處(chu)理，也(ye)不同(tong)于(yu)(yu)單個或(huo)多(duo)個傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)(de)(de)監測(ce)(ce)和測(ce)(ce)量，而是(shi)對基(ji)于(yu)(yu)多(duo)個傳(chuan)感(gan)器(qi)測(ce)(ce)量結果基(ji)礎上(shang)的(de)(de)(de)(de)更高(gao)層次的(de)(de)(de)(de)綜合決策過程(cheng)。有鑒于(yu)(yu)傳(chuan)感(gan)器(qi)技(ji)術的(de)(de)(de)(de)微型化、智(zhi)能(neng)化程(cheng)度(du)提高(gao)，在信(xin)息獲(huo)取基(ji)礎上(shang)，多(duo)種(zhong)功能(neng)進(jin)一(yi)步集成以致于(yu)(yu)融(rong)合，這(zhe)是(shi)必(bi)然的(de)(de)(de)(de)趨(qu)勢(shi)，多(duo)傳(chuan)感(gan)器(qi)數據(ju)融(rong)合技(ji)術也(ye)促(cu)進(jin)了傳(chuan)感(gan)器(qi)技(ji)術的(de)(de)(de)(de)發(fa)展。
多(duo)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)數據融(rong)合(he)(he)的(de)(de)(de)(de)定義概括(kuo)(kuo)：把分布在不同(tong)位(wei)置的(de)(de)(de)(de)多(duo)個(ge)同(tong)類或不同(tong)類傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)所提供(gong)的(de)(de)(de)(de)局(ju)部(bu)數據資源加以(yi)綜合(he)(he)，采用計算機(ji)技術對其進(jin)行(xing)分析，消除(chu)(chu)多(duo)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)信(xin)息(xi)之間可能存(cun)在的(de)(de)(de)(de)冗余和(he)矛盾，加以(yi)互補(bu)(bu)，降低其不確實(shi)性(xing)(xing)，獲(huo)得(de)(de)(de)被(bei)測對象(xiang)的(de)(de)(de)(de)一致性(xing)(xing)解釋與(yu)描述(shu)，從而提高系(xi)統(tong)(tong)決(jue)策、規劃、反應(ying)的(de)(de)(de)(de)快速性(xing)(xing)和(he)正確性(xing)(xing)，使系(xi)統(tong)(tong)獲(huo)得(de)(de)(de)更充分的(de)(de)(de)(de)信(xin)息(xi)。其信(xin)息(xi)融(rong)合(he)(he)在不同(tong)信(xin)息(xi)層(ceng)次上出現，包括(kuo)(kuo)數據層(ceng)(像素層(ceng))融(rong)合(he)(he)、特征(zheng)層(ceng)融(rong)合(he)(he)、決(jue)策層(ceng)(證據層(ceng))融(rong)合(he)(he)。由于它比單一傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)信(xin)息(xi)有如下優點，即容(rong)錯性(xing)(xing)、互補(bu)(bu)性(xing)(xing)、實(shi)時性(xing)(xing)、經(jing)濟性(xing)(xing)，所以(yi)逐步(bu)得(de)(de)(de)到(dao)推(tui)廣應(ying)用。應(ying)用領(ling)域除(chu)(chu)軍事外(wai)，已適(shi)用于自動(dong)化(hua)技術、機(ji)器(qi)(qi)人、海洋(yang)監視、地震觀測、建筑、空中交通(tong)管制、醫學診斷、遙感(gan)(gan)技術等方面。
近(jin)年(nian)來(lai)，傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)正處于傳(chuan)統型向新型傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)轉型的(de)發展(zhan)階段。新型傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)特(te)點是微(wei)型化(hua)(hua)、數(shu)字化(hua)(hua)、智能(neng)化(hua)(hua)、多功(gong)能(neng)化(hua)(hua)、系統化(hua)(hua)、網絡(luo)化(hua)(hua)，它不僅促進了傳(chuan)統產業的(de)改造，而且可導致建立新型工業，是21世紀新的(de)經濟增長點。
